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摘要:集成电路作为现代信息社会的核心基础设施,其技术演进始终围绕更高性能、更低功耗、更高集成度的发展目标不断突破。从微米时代到纳米时代,再到先进制程节点持续推进,集成电路制造技术经历了材料、结构、设备...